3. 掺杂浓度检测：测量晶圆内掺杂剂的浓度，保证电导率和其他电学特性。 5. 光学特性检测：检测晶圆的透光率和折射率等光学特性。 1.光学显微镜检测：用于观察晶圆表面的显微结构。 2. 扫描电子显微…