江西国材科技****的回答:
多弧离子镀膜是一种通过电弧放电和离子轰击的原理,在基材表面沉积出金属膜的技术。其基本工作原理如下:
1. 準备工作:将靶材(通常为金属)放置在真空室内,然后抽取空气,製造出高真空环境。
2. 电弧放电:使用高能量直流脉冲等方式加热靶材,引起金属表面产生高温等离子体,并将金属原子和离子释放到真空室中。
3. 离子轰击:通过调节离子加速器和磁控系统,使释放的金属离子在真空室中形成离子束,并以较高的能量轰击基底表面。
在离子轰击的作用下,基底表面的原子得到激发,与金属离子之间发生反应,从而沉积出厚度微公尺到数百微公尺不等的纯金属膜层。注意:在多弧尘戚离子镀膜的过程中,也可以新增其他气体或化合物来製备複合膜层,使金属膜层具有多种特殊性质。
4. 结束工作:完成离子轰击后,停止加热桐慎靶材,将沉积在基底表面的薄膜脱离真空室。
多弧离子镀膜具有高纯度、高緻密度、厚度均匀性好等特点,同时还可以製备出不同局兄敬颜色、不同组成的複合膜层,因此被广泛应用于光学、电子、机械等领域。
热心网友的回答:
多弧阴极根据靶材的不同,能够稳定工作的电流是不一样的,例如:如果是cr靶,可以在60a左右就可以稳定工作,ti靶在70a左右可以稳定工作,zr的稳弧电流稍高一些,大约在100a左右,阴极的工作电压在20v-30v之间。 镀膜时,比如你要做tic黑膜,就必须选用ti靶,ti的工作电流在70a,工作电压在25v左右歼竖,需要向氏念大真空室内充入c2h2气体,镀膜时的真高闷空度要保持在左右,一般情况下,是用分子帮浦或者扩散帮浦来抽取这些气体,使得真空室保持一定的压力,此时的滑阀帮浦和罗茨帮浦充当分子帮浦或者扩散帮浦的前级帮浦,是一直要开着的。
️多弧离子反应镀膜装置可以镀出什么色彩?
江西国材科技****的回答:
多弧离子反应镀膜装置可以通过调节工艺引数和使用不同的靶材料来镀制多种不同颜色的膜层。以下是一些常见的颜色和适用的靶材料:
1. 金色/黄色 膜层: 一般使用钛(ti)靶材或碳化硅(sic)靶材。
2. 红色圆虚旦 膜层: 通常使用氧化铝誉培(al2o3)靶材或氮化钨(wn)靶材。
3. 紫色 膜层: 通常使用氧化钨(wo3)靶材或氮化钨(wn)靶材。
4. 蓝色/绿色 膜层: 通常使用二氧化钛(tio2)靶材或氧化铜(cu2o)靶材。
5. 灰色/黑色 膜层: 通常使用碳(c)靶材或氮化硼(bn)靶材。
需要注意的是,实际操作过程中,工艺引数的设定和靶材的选择可能与上述简要介绍略有不同,因此在具体操作前需要根据实际情况进行进一步了解和优化。同时,不同厂家的装置可能会有不橘扰同的适用颜色,因此在选择装置时需要注意确认其适用範围与您的需求是否匹配。
总之,多弧离子反应镀膜装置可以製备出多种不同颜色的膜层,但具体操作所需的引数和靶材需要根据不同情况进行综合考虑。
️多弧离子镀的原理
睢鸠运菱的回答:
离子镀是真空室中,利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用範围。其优点是薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等。
首次提出离子镀原理,起工作过程是:
先将真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高压电源,在蒸发源与基片之间建立乙个低压气体放电的低温等离子区。基片电极接上5kv直流负高压,从而形成辉光放电阴极。辉光放电区产生的惰性气体离子进入阴极暗区被电场加速并轰击基片表面,对其进行清洗。
然后进入镀膜过程,加热使镀料气化,起原子进入等离子区,与惰性气体离子及电子发生碰撞,少部分产生离化。离化后的离子及气体离子以较高能量轰击镀层表面,致使膜层质量得到改善。
然而多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀採用的是弧光放电,而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说,多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源,通过靶与阳极壳体之间的弧光放电,使靶材蒸发,从而在空间中形成等离子体,对基体进行沉积。
️多弧离子镀膜的主要特点有哪些
桐华小智的回答:
真空条件下,採用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,层积在被镀产品上形成的金属膜。
️多弧离子镀的优点
寁地实的回答:
(1)从阴极直接产生等离子体,不用熔池,阴极靶可根据工件形状在任意方向布置,使夹具大为简化。
2)入射粒子能量高,膜的緻密度高,强度和耐久性好,附着强度好。
3)离化率高,一般可达60%~80%。
4)从应用的角度讲,其突出优点是蒸镀速率快。
️多弧离子镀的介绍
苏荷的回答:
多弧离子镀孙好中是採用电弧放电的方法,在固体的阴极靶材上直接蒸发金属,蒸发物是袜洞从阴极弧光辉点放出的阴极物质的则山离子,从而在基材表面沉积成为薄膜的方法。
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