大家都知道,在芯片制造流程中,光刻机非常重要,是最核心的设备之一,其光刻成本占总晶圆制造成本的三分之一,光刻时间,占到整个工艺的40%以上。
但大家不知道的是,光刻中不仅光刻机重要,另外还需要一种特别重要的东西,这种东西,目前国内技术严重落后于国内际水平,还在100nm+的水平,高度依赖美、日、欧企业,可以说是被严重卡着脖子的。
这种产品就叫做光罩,也有说叫做它是光掩膜板的。
光刻机的原理,就是光线照射光罩,将光罩上的芯片电路图,投射到涂有光刻胶的晶圆表面,最后再进行蚀刻等,形成芯片。
所以光罩就相当于芯片的母板,没有这个母板,怎么制造芯片?设计图上的电路图,可没法直接投射至硅晶圆上的。
这个光罩,是一种高纯度石英玻璃基板,制造成成品光罩时,需要历经几十道工序,才能将芯片电路图精准的刻画到上面。
一般光罩上的图案是电路设计图的 4 倍,光刻机投射光罩时,利用光线成像原理,将图像再缩小至光罩的四分之一刻至硅晶圆上,就形成了精准的芯片电路。
光罩上的电路图的精准度,平整度有严格要求,所以制造光罩对材料、技术等的要求非常高。
目前整个光罩的核心技术,掌握在美国、日本、欧洲的企业手中,它们拥有着高端光罩制造材料、核心技术,以及尖端设备。
而国内也有一些能制造光罩的企业,比如清溢光电、路维光电和龙图光罩等,但大家支持的工艺,很多还在100nm+,严重落后国际水平,完全不能满足当前国内芯片制造的需求。
国内现有的100nm以下的光罩,大多都是买日本、美国等企业涂胶好的版回来,如果对方不卖给我们,会是什么后果,这个大家懂的吧。
所以说,虽然大家都知道光刻机重要,也都在关注光刻机,觉得只要搞定EUV,我们的芯片产业就高枕无忧了,但其实我们要补的课还很多,芯片产业是一个系列工程,并不是有一台机器就行的,还需要各种配套技术、材料、设备等,比如光罩,光刻胶等等,都需要突破。